表面處理裝置包括容器，其容納被處理體；表面處理單元，其具有處理室，該處理室具有容納容器的空間，并導入用于對被處理體的表面進行處理的氣體；以及容器驅動機構，其使容納被處理體的容器進行往返動作或擺動動作中的至少一個動作。